采用 PVD 的光学镀膜

对于光学镀膜而言，需要将许多薄层相结合以创造各种反射特性或层来提高光导性。这些层通常应用于批量镀膜系统中的称为“物理气相沉积”(PVD) 的工艺中或用于蒸发工艺中，所有这些工艺都是在压力范围为 10-2 至 10-3 mbar 的真空条件下进行。

光学镀膜应用需要能够在真空室内将期望的真空度维持在稳定的数值的精密系统。Leybold 莱宝提供这些系统所需的所有真空产品，包括：

前级泵或“前级”真空泵

在该工艺的第一阶段，必须使用“粗真空”泵从真空室中清除环境气体和湿度，以便快速抽空真空室。我们拥有多个产品系列，包括 DRYVAC、VARODRY、SCREWLINE、SOGEVAC、TRIVAC 和 RUVAC 泵，能够满足您的工艺的具体要求。您可以将多个系统进行组合，以获得理想的抽取速度并降低拥有成本。

高真空抽取

在该工艺的下一步中，将工艺室抽至 5x10-6 mbar 及更低的真空度，并且需要持续使用氩气、氮气和氧气等气体使其在工作压力范围内保持在这一水平。某些工艺需要无油、无尘和无振动的工艺环境。在这种情况下，我们建议使用 TURBOVAC i、TURBOVAC MAG 或 COOLVAC 泵。对于要求不太高的工艺，扩散泵（DIJ 和 DIP）更为适合。
高真空系统需要能够在高气体负载下持续运行，并能长期运行。

可靠且经济高效的装置

Leybold 莱宝的泵专为镀膜应用而设计，数十年来一直备受客户青睐。经验还告诉我们，可靠性和正常运行时间非常关键。因此，我们建议制定定期维护计划和使用 OEM 备件。在您妥善保养真空系统的条件下，您还可以节省运营成本。与您当地的 Leybold 莱宝代表联系，找出理想的解决方案，让您的生产始终保持正常运行。

工艺控制解决方案

确保您始终可以准确地测量真空沉积工艺的真空条件。借助我们的全系列真空计，您可以确保始终能够监控工艺的理想条件。您的 Leybold 莱宝代表将非常愿意为您提供有关理想工艺控制解决方案的建议。检漏和 RGA（残余气体分析仪）系统在工艺重复性和可靠性方面发挥着至关重要的作用。

系统整合

我们的泵经过精心设计，可以出色地配合使用，但有时您的工艺需要更多的控制和监测解决方案。在这种情况下，我们会安装支持您的生产工艺的 PLC 或控制器。